型号:LMG D5系列
 
项目
LMG126
LMG305
LMG606
光源
可视半导体镭射
测定范围mm
0.05~12
0.2~30
0.5~60
最小表示量um
0.05
0.05
0.1
综合精度um
±1
±3
±4
直线性误差um
±0.5
±2
±2.5
往返精度误差um
±0.2
±0.5
±0.5
扫描频率
1800/s
扫描速度m/s
110
175
350
周围温度℃
0~45